噴霧涂膠機(jī)是多功能、使用簡便、靈活和高性能的同義詞。擁有完整系列的緊湊而易于使用的旋轉(zhuǎn)/噴霧涂膠設(shè)備，可滿足從經(jīng)濟(jì)型小批量實(shí)驗(yàn)到300毫米高端量產(chǎn)的多種需求。旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)內(nèi)嵌了，這項(xiàng)技術(shù)專為富含溶劑和低擾動(dòng)的涂敷 而設(shè)計(jì)，盡可能減少材料消耗。新先進(jìn)涂膠系統(tǒng)針對晶圓鍵合技術(shù)和LED制造的需求而開發(fā)，它基于標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)型架構(gòu)。以上設(shè)備的報(bào)價(jià)都可以進(jìn)行在線咨詢。獨(dú)立開發(fā)的涂膠技術(shù)采用革命性的光刻膠薄膜淀積方法，主要用于三維微結(jié)構(gòu)的制作。可以在平坦和起伏陡峭的表面上實(shí)現(xiàn)保形涂敷，光刻膠薄膜可以覆蓋起 伏600微米以上的臺(tái)階。
